マシンビジョンシステム

マシンビジョンシステム

マシンビジョンレンズ

テレセントリックレンズ 近赤外モデル NIRシリーズ

近赤外モデル NIRシリーズ

使用波長域770nm〜1200nmをターゲットに専用設計した近赤外MML。

赤外対応のカメラ・照明と組み合わせることで、ウエハー内部の欠陥や裏面のパターンを観察できる特殊用途MMLです。

主な用途

  • 不可視画像観察
  • ボイド検査
  • SAWフィルター(LiNb03 LiTa03)検査
  • MEMS用検査
  • ウェハーonウェハー位置決め
  • FCB用位置決め
  • フィルム越し画像認識
  • TAB基板上の配線認識
  • ウェハー表面観察・OCR
  • 赤外顕微鏡用照明

型式説明

仕様

型式 MML4-80D-IR MML6-80D-IR MML8-80D-IR
同軸照明
倍率 ×4 ×6 ×8
WD (mm) 82.4 81.5 81
分解能 4µm
被写界深度 50µm 33µm 27µm
NA 0.15
有効Fno 13.3 20.1 26.9
TVディストーション(%) 0.01
最大適合CCD 2/3"
質量 90g 100g 110g
マウント Cマウント

分光特性

応用例

赤外線同軸透過観察

消耗品及び関連製品

赤外ハロゲン光源
品名 MHAB-100W-IR
仕様 1100nm〜を放射

リプレースランプ
品名 LM-100-IR
仕様 赤外反射コーティング100W用

耐熱ライトガイド
品名 MSG4-1100S-HR
仕様 耐熱仕様ライトガイド

赤外対応カメラ
品名 MC-781P-0030
仕様 2/3" 780H×488pix近赤外光に感度

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