機能性材料・精密部品

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高純度石英材料

酸水素溶融石英チューブ/ロッド

VITREOSIL®(標準グレード)

  • 耐熱性に優れ高純度
  • 多様な研削仕上コンポーネンツを供給
  • スート乾燥用/焼結用プロセスチューブも供給
  • 各種加工品にも対応

酸水素溶融法にて製造された透明石英ロッド、チューブで気泡が殆どありません。

光ファイバ用のコンポーネンツとして耐熱性に優れ高純度の為、最も適した材料で、光ファイバ製造用に多種多様な研削仕上げコンポーネンツを供給、MCVD用給排気チューブやVAD用ハンドリングロッド・種棒、そして全てのテクノロジーに対応出来る把持用ロッドも含みます。
また、ストー乾燥用や焼結用に使用されるプロセスチューブの供給も出来ます。

主な用途

  • 半導体
  • 光ファイバ

代表的なサイズと公差

ロッド
  • 直径φ5mm〜φ36mm (公差±0.5mm)
  • 直径φ37mm〜φ60mm (公差±1mm)
  • 最大反り:1mm/m
  • 真円度:0.3mm

*更に小サイズと厳しい公差も対応可能です。

チューブ
  • 内径φ1mm〜φ50mm
  • 外径φ3mm〜φ54mm
  • 肉厚0.8mm〜2,4mm
  • 内外径公差 ±0.2mm〜±1.7mm
  • 最大反り:1mm/m
  • 最大真円度:2.5%
  • 最大内厚差:0.3mm

*他の寸法、更に厳しい公差も対応可能です。

化学的特性 単位:ppm

微量分子(ppm) OH
(ppm)
Al Ca Cr Cu Fe K Li Mg Mn Na Nd Ti Y Zr
17 0.8 <0.01 <0.01 0.2 0.5 0.7 0.05 0.02 0.7 <0.01 1.1 <0.01 0.01 170

特性

(熱特性)
  • 歪点:1,080℃
  • 徐冷点:1,200℃
  • 軟化点:1,730℃

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