機能性材料・精密部品

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高純度石英材料

酸水素溶融透明石英インゴット/ディスク/プレート

TSC-3

  • 中空インゴットも製造可能
  • ディスク、プレート、機械加工部品にも対応

高度に精錬された天然水晶を使用して、酸水素溶融法にて製造された透明石英インゴット材です。ほとんど気泡はなく機械加工性にも優れております。

プレート、ディスク、リングでのご提供が可能です。

主な用途

  • 半導体

仕様

プレートサイズ
  • 厚さ1.5mm〜9.0mm⇒670mm×570mmまで
  • 厚さ5.0mm〜100mm⇒630mm×1,100mmまで
ディスク
  • 厚さ1.5mm〜9.0mm⇒φ570mmまで
  • 厚さ5.0mm〜100mm⇒φ600mmまで

化学的特性 単位:ppm

微量分子(ppm) OH
(ppm)
Al Ca Cr Cu Fe K Li Mn Na Nd Ti Y Zr
15 0.5 <0.01 <0.01 0.1 0.2 0.2 0.01 0.1 0.01 1.3 <0.1 1.3 170

特性

(熱特性)
  • 歪点:1,080℃
  • 徐冷点:1,200℃
  • 軟化点:1,730℃

光透過率(10mm透過距離)

ご要望シート


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