機能性材料・精密部品

粒子

用途別粒子

スモーク・チェックシリーズはNFPA(米国国家防災協会)で要請されている煙マーカーです。煙マーカーとして従来のDOPやオイル状粒子、また実際の煙を使用した場合は残留物を取り除く必要がありましたが、この製品は使いきりの良い容量で、取り扱いが容易なポリスチレン粒子です。クリーンルームなどを汚染する事なく、ヘパフィルターで粒子を完全に回収する事ができます。

SMOKE-CHECK™(スモーク・チェック)シリーズ

主な用途

  • 粒子個数検査用
  • シリコンウエハー検査用
  • へパ・フィルタ検査用
  • 煙探知警報装置検査用
  • レーザー回析、粒度分布計校正用
品名 呼径(µm)
SD-01 1.6
  • 製造バッチにより、上記表と若干異なる場合があります。

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