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高純度石英材料

合成石英

SPECTROSIL® 2000シリーズ

  • 超高純度合成石英
  • 気泡ゼロ
  • 優れたUV透過率
  • 塩素フリー

超高純度成石英でUV透過率特性、レーザー耐性に優れたバブルフリーの素材です。特殊製法により塩素フリーで環境にも優しい製品です。

ご要求の厳しい殆どの用途で利用可能な各種グレードをご用意しております。

主な用途

  • 半導体
  • 光ファイバ
  • 光学製品
  • 液晶ディスプレイ

仕様

■グレード
Spectrosil® 2000 深いUV(180nm)〜Medium IR(2,000nm)の光学用。
Spectrosil® 2200 エキシマレーザーグレード。深いUVエリアにおいて最高の透過率を示し、KrF(248nm)やArF(193nm)のエキシマレーザーと共に使用された場合、使用寿命が長くなります。
■サイズと種類
インゴット Spectrosil® 2200 標準径200mm
Spectrosil® 2000 標準径300mm
ロッド 外径60mmまで(Fグレードは光ファイバー用として特別に製造されたもので、Rグレードはそれ以外の用途に適しています。)
チューブ 外径6mm>40mmまで
外径/内径 割合1.1-1.5/1
コンポーネンツ ディスク、プレート、ブロック及び機械研削品や研磨品も提供可能

※特殊ファイバコア材
サンゴバンクオーツは、UVエリアにおいて高い透過率を要求される光ファイバー用途として、特殊ファイバー用に引かれるOH基の高いSpectrosil® 2000ロッドをご提供します。またエキシマレーザー248nm、193nmにおいて使用寿命が長くなるSpectrosil® 2200もご提供します。

化学的特性 SP2000/2200 単位:ppm

微量分子(ppm) (ppm)
Al Ca Co Cr Cu Fe K Li Mg Mn Na Ti V Zn Zr OH Cl
<20 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 <10 1000 <1

特性

(熱特性)
  • 歪点:990℃
  • 徐冷点:1,100℃
  • 軟化点:1,710℃

グレード別特性

グレード 2000 2200
種類 インゴット/コアロッド/ブランク/
コンポーネント
インゴット/コアロッド/ブランク/
コンポーネント
気泡
気泡(DIN 58927) 0 0
CSAの和(mm²/100cm³) <0.03 <0.03
異物混入の最大数 0 0
脈理(MIL-G-174A) 3方向脈理なし(インゴッド/プレート)
1方向脈理なし(ロッド)
3方向脈理なし
粒状性 None None
屈折率の均一性
中心60mmに渡って -(インゴット/プレート)
N/A(ロッド)
-
100mmまで -(インゴット/プレート)
N/A(ロッド)
-
200mmまで <25×10-6(インゴット/プレート)
N/A(ロッド)
<25×10-6
200mm超 規定無し(インゴット/プレート)
N/A(ロッド)
N/A
残留歪み(nm/cm) <10(エッジは除く)(インゴット/プレート)
N/A(ロッド)
<5
蛍光(254nm励磁) None None
標準径(mm) 300mm(インゴット/プレート)
50mm(ロッド)
200mm

光透過率(代表値)スペクトル2000、2200

ご要望シート


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