検査・計測機器

デモ評価は随時対応しております。

  • 低倍でのマクロ欠陥から高倍でのミクロ分析まで一台で対応
  • 照明・光学技術と各種画像前処理によりハイコントラスト画像を実現
  • 高精度画像貼合わせ技術で最大200mmウエハー一括評価
  • ステージ・照明をPCで一括制御
  • 豊富なソフトオプション対応(バージョンアップ可能)

主な用途

  • ウエハー接合ボイド評価・検査
  • 3次元実装評価・検査
  • ダイシング後のチッピング評価・検査
  • WLCSPのチッピング評価・検査
  • MEMSデバイス評価・検査
  • COG接合部評価・検査
  • 太陽電池評価・検査

仕様

製品名 IRise®
対応材料 Si-Si / Si-Glass / Si-Au / Si-GaAs / Si-GaP / Si-GaAsP / Si-LiNbO3 / Si-LiTaO3 / Si-Au-PZT / Si-Au-PLZT / Si-polymer-Si
光学系 PC制御 電動ズーム
倍率 低倍 0.75倍〜4.5倍
高倍 7倍〜40倍
視野 低倍 7.09×8.88mm〜1.18×1.48mm
高倍 0.71×0.89mm〜0.13×0.17mm
照明系 高倍・低倍 近赤外同軸 近赤外透過 (近赤外斜光:オプション)
*可視光/紫外光への対応も可 *各組合せ選択も可
ステージ系 自動ステージ(任意制御)
ストローク Xステージ 200mm
Yステージ 200mm
Zステージ 100mm
制御 PC一括制御:倍率可変/低・高倍率レンズ切り替え/照明切り替え/X・Y・Zステージ
ソフト 画像前処理(画像強調)/画像貼合わせ(高精細画像をスキャンし合成する:MAX 8inch)
簡易計測:2点間距離計測・円形面積・四角面積
*その他 FCB位置ズレ測定などオプション対応可
寸法(W×D×H) 625×705×735(レベラー部含む)
重量 85kg

その他、各種MEMS関連評価・検査装置取り扱っております。

Twin IR Zoom Lense搭載 (0.75倍〜40倍ZOOM)

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